高分辨场发射扫描电镜

HITACHI SU-8010高分辨场发射扫描电镜包括SU-8010主机和E-1045喷铂喷碳装置，并配备有EDAX X射线能谱仪。加速电压为15kV时，分辨率为1.0nm，加速电压为1kV时，分辨率为1.3nm。

日立2005年在中国推出了S-4800型高分辨场发射扫描电镜，由于出色的应用性能、良好的稳定性和简易的维护，收到了各界用户的*。

日立2011年新推出了它的后续机型----SU8010，它继承了S-4800的优点，性能有进一步提高，1kv使用减速功能后，分辨率提升到1.3nm，相对于S-4800可以在更低的加速电压下呈高分辨像，明显提升了以往很难观测的低原子序数样品的观测效果。

产品特点：

1. 低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm

2. 日立专li的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品

3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像

4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能

5. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能

6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成

主要用途：

扫描电镜（SEM）可观察纳米材料、材料断口的分析、观察原始表面、观察区域细节、显微结构分析等。

X射线能谱仪可进行成分的常规微区分析：元素定量、定性成分分析，实时微区成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量。分析范围Be4~U92。

已广泛应用于材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料、医药科学以及生物等领域。